公开号：	US2007074739A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	处理装置的清洗方法和处理装置
摘要：	在处理装置处理室内部抽成真空的状态下，向其中注入含有三氟乙酸（TFA）作为清洁剂的清洁气体。用在互连或电极上并粘结在处理室内壁上的金属，比如铜，当其接触到清洁气中的清洁剂（TFA）时，与其直接复合而没有形成氧化物或金属盐。复合物由于抽真空而升华，并排到处理室外。因此，此清洁过程能在较少人力和较低成本下高效率完成。