公开号：	US2007089676A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	基板上的气相沉积方法
摘要：	本发明涉及一种在基板上的气相沉积方法。它包括一个盘和一个具有线性排列孔的盖子。在这盖子上放置着一个也具有开口的封锁装置。通过此封锁装置，盖子上的孔能被打开或关闭，且所有的孔都是被同时操作。而且，通过此封锁装置能在极短时间内设定不同的蒸发速率。