公开号：	US2007093018A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	绝缘材料的形成方法和增强绝缘材料
摘要：	绝缘材料的形成方法包括形成第一单层和在第一单层上形成第二单层，其中一个层由钽和氧组成，另外一个层由氧和不同于钽的元素组成。绝缘层包含第一单层和第二单层。它显示出比第一单层更大的介电常数。另一个元素可以包含IB到VIIIB族的元素，比如钛和/或锆。第一和第二单层的形成包括原子层沉积。绝缘材料包含第一和第二化学吸附材料，其中第二材料由氧和一个IB到VIIIB族的元素组成，且绝缘材料显示出比第一化学吸附材料更大的介电常数。绝缘材料更表现出比第一材料较少的电流泄漏。