公开号：	US2007095283A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	用于原子层沉积的抽运系统
摘要：	用来排出反应区中反应物的抽运装置包括一个真空室；一个支撑共件的炉床；一个或多个气体导入阀；一个或多个排气阀；和一个由阀门上各独立组件排列形成的可调阀，组件上凿了两个或多个开孔，它能供一个或多个路径通过。