公开号：	US2007098892A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	膜层的形成方法以及利用它制备电容器的方法
摘要：	本发明涉及膜层的形成方法以及利用它制备电容器的方法。首先在基底上引入含锆前驱物的第一反应物和第一氧化剂来初步形成锆氧化膜，再经过热处理来形成具有致密晶体结构的第一锆氧化膜。向基底上加入含铝前驱物的第二反应物和第二氧化剂，这样就在第一锆氧化膜上形成了铝氧化膜。包含第一锆氧化膜和铝氧化膜的热处理层可形成电容器的介电层。