公开号：	US2007101938A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	具有内部线性天线的大处理面积电感耦合等离子体处理装置
摘要：	一种电感耦合等离子体处理装置，具有一个大的处理面积，电感耦合等离子体处理装置包括：一个反应室；一个多元化的线性天线横向布置在一个内部的反应室上部，而作为一个预定的间距来接收感应射频功率，线性天线被相互耦合在一个反应室的外部，其中线性天线至少包括一个弯曲天线通过连接相邻的天线组成的，它暴露在反应室的外部。并且至少有一个磁性连接于线性天线产生一个磁场垂直穿过一个电场，在这样的方式进行电子自旋运动。