公开号：	US2007102284A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	小型扫描磁性装置
摘要：	一个小的磁性装置具有一个面积小于10%目标区域的磁性装置，扫描是在逆行行星或行星的路径大约是在目标的后面，是等离子溅射包括有关目标的轨道旋转的中心轴以及关于一个行星关于另一个旋转轴旋转的目标中心轴。磁性装置通过目标中心，并且覆盖整个目标。选择二个旋转轴合适的速度比率，其中目标周围较目标中心轴产生一个较慢的磁性速度。行星齿轮机理包括一个旋转驱动板，由固定中心轮和一个从动齿轮托辊和可旋转的驱动器所支持的驱动器提供目标物的侧平面悬臂式磁铁装置