公开号：	US2007120275A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	高稳定性和高容量前驱体气体沉积薄膜的形成
摘要：	一种使气体气化后在基板上沉积薄膜的装置。该装置包括一个带有入口和出口的蓄水池。能控制池中液体保持在一个稳定的水平，一个气流通道延伸侧面包含多孔金属壁，可以使载气可以沿着多孔金属壁通过，形成了气体/蒸汽混合物的薄膜沉积系统。