公开号：	US2007131167A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	基板加工设备和配套设备
摘要：	基板处理装置，这种装置可以使维修工作效率得到提高。基材处理装置包括：多元化反应室100用于在晶片上进行等离子体处理。每个处理室100室盖有200个配套，可被起重机悬挂和支持单元500。起重机的单元500包括一气缸510和直线导轨520。气缸盖510保持室内200垂直方向可移动。直线导轨520持有室盖200在水平方向可移动。