公开号：	US2007131536A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	溅射工艺和设备
摘要：	本发明是获得减少或消除滞后行为的反应溅射工艺方法。这是通过采用从金属和复合材料混合而成的。根据本发明的方法，对复合材料的分数足够大，用来消除或大大减少反应溅射工艺，使滞后行为的速度明显比由完全复合材料制成的沉积膜更稳定