公开号：	US2007137574A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	低成本，高性能的太阳能电池制造机
摘要：	一个太阳能电池制造机配置一个VHF频率发生器。本机是一种用于在基板上得到非晶硅薄膜和微晶硅薄膜，并包括一个真空室，真空室有一载箱，至少有一个孔形板电极垂直放置在盒子载体，在板电极附近接有多个垂直盒子载体的接地金属板。电极板定义为多元孔用于从VHF频率发生器传播电磁能量到板电极。该板电极和多元化接地金属板，形成一个电场，在位于板电极和接地金属板之间的基板上覆盖至少一层非晶硅薄膜和微晶薄膜。