| 摘要： | 将基底和产生等离子体的阴极一同安置在反应室内，可以在基底上获得靶材料的涂层。每个阴极各有一种靶材料，并且和基底一起被放置在反应室的同一侧。反应室内的等离子体气体是循环的。如本专利所描述的，将酸溶解的金属沉积在耐酸基底上，可以制备耐酸金属薄膜。阴极蒸汽沉积装置包括一个有壁的反应室，炉壁上分布有通道门。并且，反应室的炉壁上面安装有阴极，与反应室连接的泵，以及夹具。其中，夹具是电绝缘的，所有的阴极分布在夹具的同一侧。物品可能包含沉积了一层金属靶材薄膜的聚合物基底，或者表面附有底漆的金属基底，薄膜的沉积是采用本专利介绍的方法完成的。 |