| 摘要： | 本专利公开了一种评估薄膜或涂层溶剂渗透的方法（如水）。涂料透气性。首先在基底最好是一种多孔材料包括吸收或储存层。为了研究水渗透性，多孔材料是亲水性或通过退火工艺实现亲水性的。为了研究薄膜或涂层的渗透性，涂层沉积在多孔材料的表面。把吸收或储存层上沉积了薄膜或涂层的基底，输送到压力室，然后用溶剂的蒸气充满压力室（如水蒸汽）。在零和溶剂的平衡蒸气压之间，通过增加/减少反应室中的压力，溶剂对薄膜或涂层的渗透性（渗透）得到确定。溶剂的量，穿透薄膜或涂层溶剂的量可以通过椭圆偏振，或质谱等测定。本发明首选例子，在半导体加工中用于光刻蚀光敏涂层透水性的测定，这是特别重要的浸泡光刻蚀的典型案例 |