公开号：	US2007151518A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	蒸发器是位于蒸发室侧表面的环形脊
摘要：	蒸发器蒸发液体原料产生原料气来形成薄膜，蒸发器主体包括一个蒸发室一个雾供应进入蒸发室的炉喉。蒸发室是一个与炉喉对应的主蒸发面板。蒸发器主体还包括一个原料气供应通道。通道是在雾供应炉喉和主蒸发面板之间，可以使原料气气流从蒸发室中流出，流经原料气供应通道。在蒸发室侧壁表面有一个脊，供应通道和主蒸发面板之间的原料气可以直接从脊的顶部到达主蒸发面板。