公开号：	US2007215048A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	用于减少沉积系统中粒子污染的方法和设备
摘要：	本发明描述了用于减少沉积系统中衬底的粒子污染的方法和系统。沉积系统包括布置在其中并被配置来防止或部分地防止膜前驱体粒子的通过、或者打散或部分地打散膜前驱体粒子的一个或多个粒子扩散器。粒子扩散器可以安装在膜前驱体蒸发系统、或蒸汽传输系统、或蒸汽分配系统内，或者其中两者或更多者内。