| 摘要： | 一种加工工件的等离子体反应器包括一个反应室和一个室内支持工件，室内有一个工件支持顶，位于顶部具有一电感耦合等离子体动力源，射频发电机耦合电感耦合源动力喷头，以及电容耦合等离子体源动力喷头组成的一个源动力电极:(a)吊顶（b）工件支架，和一个高频发电机耦合的电容耦合的源动力喷头，该反应器还包括在工件支架上一个偏置电源等离子喷头组成的偏置电源，至少第一射频偏置电源耦合等离子体发生器偏置电源喷头，工艺气体分布装置包括一个吊顶，一个抽室内气体的真空泵，第一控制器和一个调整功率相对含量，同时能在室中耦合等离子体电感耦合等离子体源动力喷头和电容性耦合等离子体源动力喷头 |