公开号：	US2007259184A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	化学气相沉积安装物体的方法
摘要：	用化学气相沉积涂层包覆物体的表面，比如DCPACVD或者RFPACVD脉冲法制备的类金刚石的碳膜。这个方法首先提供了一个活性电极，用介质层覆盖这个活性电极，留下至少一个空隙，允许介质层与活性电极接触，用介质层包覆的支撑杆封闭这个空隙，其中支撑杆上面有一个导电的核心，透过空隙，这个核心和活性电极实现电子流通。将物体放置在介质层包覆的支撑杆上面，于是这个物体和导电核心间有了电子流通，然后在物体存在电流的情况下，采用等离子体轰击这个物体，这样物体表面就有了涂层，比如机器活塞。采用这个方法，连续多个阵列的相似的物体可以同时被包覆。