公开号：	US2007281082A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	原子层沉积的急速升温
摘要：	本说明为应用原子层沉积技术的沉积材料的急速升温系统及其方法。通过对很少沉积周期的沉积材料的每一层表面急速升温，如此沉积材料中未反应的前躯体和副产品可以被去除。通过去除包含的杂质而使材料达到高质量。快速升温源可以快速的升高沉积材料表面的温度而不需要使沉积材料基底主体部分充分升温。因为材料的主体不需要升高，主体的作用相当于急速升温后使表面冷却的散热片。在这种方法中，为了使表面温度足以达到对于沉积适合的低温所以处理时间不需要太长。