公开号：	US2008006528A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	溅射厚度可控的溅射靶的组装成型方法
摘要：	本发明为溅射厚度可控的溅射靶的组装成型方法。文章主体中介绍这种方法包括连接垫模板和溅射目标的连接箔的选用，这种连接铂为易燃的多相层状结构