公开号：	US2008032043A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	对表面处理后的片材边界区域和非重要区域的处理的方法和仪器
摘要：	表面加工法包括真空腔中片材的支撑和真空腔中仅比片材中选择区域大的有限区域等离子体的产生及对其表面辐照（例如灰化过程）。当等离子体产生后，片材和腔中的选定区域将被换至，以对片材第二个选择区域进行辐照处理。