公开号：	US2008087641A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	等离子处理仪器的部件
摘要：	本发明为等离子体处理仪器的部件，包括适应热循环过程中的压力增长的扣件。扣件包括偏转的间隔装置以适应添加微粒杂质后由于最小的热膨胀差异所带来的压力增强。