公开号：	US2008075853A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	真空中快率冷却基底大面积区域的仪器和方法
摘要：	本发明为在真空环境中快率冷却基底大面积区域的仪器和方法。第一层冷却平板与基底平板表面紧密相连。第一层冷却平板与基底平板之间的空间被密封并且由于环境真空度增加而产生高压以增强冷却效能。第二层冷却平板与基底平板的背面紧密相连。第二层冷却板与基地平板间的空间体积同样边缘不留空隙并且由于气体压力改变而带来的空间压力变化与第一层一样。基底两侧相同的气体压力可以消除基底的倾斜和基底的弯曲应力。