公开号：	US2008156769A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	具有位置隔离反应器的集成工具的先进混合系统
摘要：	本发明为具有整块处理模块和组合处理模块的统一集成处理工具。组合处理模块中的化学品将被输送系统反馈，输出数据至少与一个混合系统连接。每一个混合系统的输出信号将多余第二歩的反馈信号。第二反馈信号的输出分至在每一个组合处理模块的多重独立位置反应器中。