| 摘要： | 本发明发明一种用于制备金属化合物（氮化铝和氧化锌）的压电材料，制备时是在一个c轴上平均斜度不为零的基底上进行的。这个方法主要包括，把上述的化合物的晶体沉积到一个基底上，同时该基底具有一个合适的表面用于晶体生长，生长是沿着相对于平面倾斜的c轴上的，而沉积过程主要是把来自靶源的金属原子进行溅射，而溅射过程需要在一个惰性气体和氮气或氧气的混合氛围中进行，溅射金属原子的平均的路径应该和靶源到基底的距离以及沉积的几何形貌差不多或者更大，这样可以使得在基底上存在至少一个随意的区域，在该区域上沉积的物质相对于表面是非对称的，因而可以用于液体基质中的大量载附或黏性测试或者压力测试，更加可以作为生物传感器和压力传感器。 |