公开号：	US2008292895A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	一种气体增阻聚合物薄膜及其制备方法
摘要：	本发明涉及了至少一种在氧化物气阻玻璃上涂覆的高分子膜。上述氧化物基底主要含有以氧化物网状结构形式存在的Si元素和一种以上的其他元素。这种氧化物网状结构适于实用等离子体处理。薄膜可能包括很多层，其中至少一层作为阻性玻璃涂层。该薄膜具有很好的气体增阻特性。