公开号：	US7374941B2
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	一种化学反应中活性反应物蒸汽的脉冲检测的方法和装置
摘要：	本发明涉及一种检测供应系统中物质改变的方法和装置，该系统是在反应腔体内脉冲供应蒸汽相反应物。一个体现在提供反应物的来源和一个连接反应物源和反应室的气体管道，一个连接反应物源并且调节阀门就能够调节从反应物源到反应室的脉冲蒸汽相反应物的阀门，和一个连接反应物源的传感器定位于沟通从而提供了一个反应脉冲对应时间函数的特征讯号参数指标。监测来源于信号的的曲线以及曲线形状，从而监测后续脉冲时间中曲线形状的改变。