公开号：	US2007095366A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	除掉电子器件表面有机物
摘要：	这里介绍除掉电子器件表面有机质的方法。该方法对于表面为金属的材料更为有效。将器件基底表面暴露于含臭氧（45ppm-600ppm）的丙酸或丙酸水溶液或者含碳数2到4的羧酸中。该方法更适合处理大面积表面的器件结构，例如电子封装平板显示器、太阳能电池、发光二极管。该方法可以除掉固体器件中半导体基底表面的有机物。