公开号：	US2006163206A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法料
专利名：	新型抛光浆料，免磨料的多功能活化剂
摘要：	该发明有关于基底化学机械抛光平整化处理的涂料研制。这种浆料包含多功能活化剂，较水相抛光溶液相比具有更快的去铜速率，较好地抑制等效的化学刻蚀和铜线凹陷扭曲。