公开号：	US2006180570A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	金属材料的缓蚀、防积垢及除油
专利名：	原为等离子体性能测试及等离子体加工系统的控制
摘要：	本篇主要说明等离子体系统及其操作方法。该方法包括测试至少一个等离子体系统中等离子体的状态，从中得到其参数，收到亚状态参数。亚系统参数可以显示等离子系统内至少一个亚系统情况。通过利用等离子体状态参数和亚系统数据可以对等离子系统进行操纵。