公开号：	US2006196847A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	金属材料的缓蚀、防积垢及除油
专利名：	等离子加工方法和仪器
摘要：	等离子加工方法包括以下几步，即采用氟化烷基物气体对目标物进行刻蚀，目标物采用图案化的掩模板进行掩盖；在操作腔体里对沉积物进行刻蚀，刻蚀过程中采用的气体至少有一种是氧气；烧蚀掩盖物质的加工气体也至少有一种为氧气。在一处沉积物的步骤中，采用加热的办法对腔体相应位置进行加热。