公开号：	US2006231207A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	金属材料的缓蚀、防积垢及除油
专利名：	表面处理体系和方法
摘要：	这里介绍的表面处理体系包括一个微波腔体和一个绝缘巢。绝缘巢用来承载样品。该系统还包括气体供应，用来和绝缘巢进行接触；磁控管被固定其中用来消除微波辐射。同时该系统还包括微波导向系统，用来指引微波进入绝缘巢形成气体等离子体。形成的气体等离子体可以将物体表面形成的污染物分解掉。