公开号：	US2006254716A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	金属材料的缓蚀、防积垢及除油
专利名：	化学处理TERA膜的体系和方法
摘要：	对基底上的TERA膜进行化学处理。首先，该系统可以处理采用等离子体增强化学气相沉积方法沉积的TERA膜层；该系统具备一个用于表面功能化的刻蚀系统和减小表面功能单元尺寸的加工亚系统。