公开号：	US2006283550A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	金属材料的缓蚀、防积垢及除油
专利名：	等离子体处理仪器
摘要：	这里介绍产生高均一性高稳定性的等离子体系统。仪器中主要采用微波等离子体。相关技术参数包括瞬时旋转微波，采用几种波导（2-4种），并且在各个波导中形成一定角度，在各个电场间设置相差。这样的构造在腔体中引入圆极化波。同时，本专利还提够了波导的安置方法，以及其他部件的安装使用方法，包括微波合并箱子，反射波控制系统。