公开号：	US2007034599A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	金属材料的缓蚀、防积垢及除油
专利名：	纳米尺度电子刻蚀
摘要：	纳米尺度电刻蚀的方法采用可重复利用的导电模板，该模板表面具有周期性的导电和绝缘图案，该模板放置在附着电敏感光刻胶的导电基底上。当在模板和基底同时施加电压时，接电的电敏感光刻胶发生改变。经过对基底物质的选择性处理之后，移去掩模基板，基底上得到的图案和掩膜相符。这种被图案化的基底也可以接着作为其他材料的掩模基板。多个电极的存在是分立的，因此不需要构筑特殊的模板便可以获得多行多列结构。