公开号：	US2007035200A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	金属材料的缓蚀、防积垢及除油
专利名：	微电机械系统中横梁的弯曲变形
摘要：	微电机械系统中包括一个横梁和与横梁进行静电相互作用的电极。横梁被设计成可以进行静电弯曲变形，同时具有光滑的拐角弯曲过渡。横梁的几个面可以延伸，同时相应的厚度有所降低。这种横梁的弯曲振动频率比同样尺寸的固体横梁有所增加。这种微电机械系统可以应用于需要在较短过渡时间内产生高频率震荡和谐振器中。