公开号：	US2007039170A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	金属材料的缓蚀、防积垢及除油
专利名：	三维金属微加工过程和设备
摘要：	该发明关于加工三维复杂高长径比、任意截面积金属材料的方法，以及该加工过程所用的加工设备。该方法建立在金属材料不对称深度刻蚀方法基础之上，此前，这种方法用于简便地实现复杂、非棱柱结构几何结构，可以在倾斜或非平面构筑多种高度水平阵列。采用这种办法加工倾斜电极材料，将应用于微机械钛微镜系统，此外这种方法还可以应用于加工微致动器，微传感器、微转化器或其他器件的微结构。