公开号：	US2007051470A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	金属材料的缓蚀、防积垢及除油
专利名：	等离子加工仪器和方法
摘要：	等离子加工设备包括：加工腔体、检测等离子状态的检测器、用来设置加工参数的输入设备、控制器。控制器的功能是通过采用推算公式使得加工结果与状态参数计算得到的值相符，此外还可以存储推算公式，控制器连续地推算等离子体的结果值与过程参数相符合。