公开号：	US2007068626A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	金属材料的缓蚀、防积垢及除油
专利名：	真空加工设备
摘要：	等离子加工具有耗时短高效率的加工特点。真空加工设备安置了一个真空腔体来安装样品，使得样品处于低气压状态；与真空腔体相连的是一个转换腔体，用来控制真空腔体的气压降低；真空腔体与转换腔体通过一个通道连接；连接通道的内壁具有一个可移动的膜，在加工样品在真空腔体时候，这个可移动的膜可以用来覆盖通道内壁。