公开号：	US2007085483A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	金属材料的缓蚀、防积垢及除油
专利名：	等离子体限定设备和限定方法
摘要：	这里所述的等离子体限定设备和方法包括如下：几个电绝缘的部件被部署在相应位置，并互相关联于加工区域周围的结构。在各个绝缘的部件之间设定几个通道。在加工区域中至少设置一个导电部件，用于对加工区域的静电屏蔽。