公开号：	US2007102117A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	金属材料的缓蚀、防积垢及除油
专利名：	基底处理系统和处理方法
摘要：	基底处理系统附带臭氧发生装置，该装置能放电将氧气处理为臭氧，同时该设备能够承载很多基底接受臭氧的处理。流动调节器可以控制氧气的流量和生成臭氧的量。控制器用来控制供应到腔体中臭氧的流速，其控制方法是通过控制臭氧发生装置中含氧气体的流速来实现。