公开号：	US2007145008A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	金属材料的缓蚀、防积垢及除油
专利名：	不对称湿法刻蚀微加工用于制备梳形驱动换能器和供震动频率的削减
摘要：	湿法刻蚀微加工技术被大量用于微电机械系统。湿法不对称刻蚀剂刻蚀材料的某晶面比其它部分要快。例如（001）晶面要比（111）晶面要快。最后的刻蚀结果取决于刻蚀模板和晶面方法。这里将讲述采用不对称湿法刻蚀技术加工静电换能器特别是用于加工梳形静电驱动的致动器和传感器。采用同样的不对称湿法刻蚀技术，可以减少悬浮的断面，这样可以软化弹簧，改变机械振荡器的振动频率。最终获得的断面依赖于刻蚀时间。在这种不对称的湿法刻蚀辅助下，悬浮物的断面面积快速变化。