公开号：	US2007163994A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	金属材料的缓蚀、防积垢及除油
专利名：	介电材料的无电荷层层刻蚀
摘要：	这里提供介电膜层的刻蚀方法。该套设备包括两个腔体，每个腔体个带有一个气体供应装置，两个腔体通过一个多电压加速栅极联通。气体进入等离子腔体中，其状态在两种形式中变换。两种形式包括当气体流入第一腔体中f11形式，流入第二腔体中以f21形式；第二种状态为流入第一腔体为f21，流入第二腔体f22.两种状态分别对应V1V2两种形式的栅极电压。