公开号：	US2007170867A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	金属材料的缓蚀、防积垢及除油
专利名：	采用有效低压天线的等离子体浸没离子源
摘要：	等离子体源需要一个可处理气源的腔体。腔体中需要设置一个电磁辐射可透过的介电窗。RF能力供应会产生一个RF信号。至少又一个天线端带有较低的有效电压和RF电源相连。至少一个RF天线固定于介电窗附近，使得RF信号通过电磁波的形式进入到腔体，激发并离子化加工气体，同时在腔体中形成等离子体。