公开号：	US2007181530A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	金属材料的缓蚀、防积垢及除油
专利名：	减少线边缘粗糙度
摘要：	翻制和模板特征一致的刻蚀层的方法在此被提供。模板制成过程如下：环境如下，提高至少包含一种惰性气体的环境气体，在腔体中形成等离子体，将模板暴露于等离子体气氛中。模板将收缩，刻蚀图案是通过采用收缩的模板做掩膜而形成的。