公开号：	US2007202700A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	金属材料的缓蚀、防积垢及除油
专利名：	满足高纵横比应用的形成定向形貌的刻蚀方法
摘要：	为了满足高纵横比方面的应用，本专利提出一种在刻蚀过程中可以形成各向异性形貌的方法。此处描绘的方法通过边壁钝化的操作机制有利于实现高纵横比的形貌轮廓以及尺寸的控制。在一个实例中，边壁钝化是选择性的在刻蚀层的边壁上或者底部形成氧化物钝化层。在另一个实例中，边壁钝化通过周期性的清除多余的沉积层来保持一个平整均匀的钝化层。均匀平整的钝化允许高纵横比的形貌进行增量方式的刻蚀，这种方法可以在基底上的高低形貌密度区域得到一个预期得深度和临界尺寸的垂直剖面而不产生缺陷或对底层的过度刻蚀。