| 摘要： | 一个进行工件加工的等离子反应堆包括一个反应室和一个反应室中工件支撑装置，反应室中一个顶棚面对工件支撑台，在反应室外部是环形等离子源由中空的凸角的管道组成，并且两端与反应室内部相连，形成了一个闭合的环形路径通过管道延伸并且沿直径方向穿过载物台，和一个附着在部分凸角外部管道上的高频功率发热电极，还有与环形等离子源的高频功率发热电极耦合的高频源功率发生器。反应器还包括一个耦合了等离子体源电极的电容（在顶棚或者载物台上的源功率电极），多个耦合于电容耦合等离子体源功率电极上的具有不同功率的超高频功率发生器，还有一个控制器用于独立的控制多个超高频发生器的功率输出从而实现控制应用到源功率电极上的有效的超高频的频率。 |