公开号：	US2007251922A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	金属材料的缓蚀、防积垢及除油
专利名：	自动增益控制
摘要：	自动增益控制的方法和仪器。附着在基底上的膜通过化学机械抛光仪（包括软磨片和一个原位监测系统）进行抛光。软磨片包括第一部分，而原位监测系统包括一个光源和一个光探测器。光源发射光，而光从光源发出是直接通过第一部分到达抛光之后的膜表面。从抛光之后的膜表面反射出回来并且通过第一部分的光由光探测器接收。一个电子信号就是基于光探测器接收的光。当电子信号不满足一个或多个系统参数时，光探测器将会被调整从而使得电子信号可以满足一个或多个系统参数。