| 摘要： | 进行工件加工的等离子反应器包括一个加工室（包括一个顶棚和垂直于顶棚的垂直对称轴），其中工件支撑底座朝向顶棚，加工气体注入器和真空泵耦合在加工室上。在顶棚上反应器还包括一个等离子体源功率热电极具有一个内部放射性热电极和一个外部放射电极，和耦合于内外热电极上的高频功率发生器，还有支撑外部热电极的倾斜部件其至少能够环绕垂直于对称轴的辐射轴倾斜外部热电极和使外部的热电极绕对称轴旋转。反应器还包括升降装置用来沿对称轴改变内外部热电极相对于彼此的位置。在一个首选的装置中，升降装置包括一个可以沿对称轴升降内部热电极的制动器。 |