公开号：	US2007262052A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	金属材料的缓蚀、防积垢及除油
专利名：	膜移走的方法和仪器
摘要：	本专利主要描述膜从基底上溢出的方法和仪器。此方法是在基底上放置一个等离子体生成器和一个抽吸装置，一个等离子体束从等离子体反应其发出倾斜打到膜上，为了克服在大气中用等离子体作为表面清理手段产生的副产物容易沉积在表面的缺点，在等离子体束的反射路径上设置一个抽吸装置来收集在膜上没有彻底反应的等离子体副产品，这样可以保持基底表面的清洁。