公开号：	US2007267143A1
大类：	国外
行业类型：	化学
行业内分类：	金属材料的缓蚀、防积垢及除油
专利名：	化学气相沉积系统废气的原位清洁
摘要：	此发明的本身是利用化学气相沉积的方法成膜，关系到方法和装置两部分。一个或更多个方法和设备包括阻止和破坏聚合物键的形成从而允许聚合物在化学气相沉积的排气线上形成。